半導(dǎo)體專用機型，針對半導(dǎo)體及MiniLed/ MicroLED的超細微開孔方式，以及開孔數(shù)較多的特點，在光學(xué)系統(tǒng)上進行針對性提升、提高分辨能力、降低光學(xué)誤差、提升檢測算法能力、提高計算能力等多項針對性優(yōu)化；

 全直線電機模組：